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    反應性濺鍍氮化鋯薄膜及其作為銅導線之阻障層的失效機制研究暨以鎳電極系統作為生物感測器
    • 化學工程系 /99/ 碩士
    • 研究生: 古聖偉 指導教授: 李嘉平
    • 本論文分別就兩個主題進行研究討論:一為反應性濺鍍氮化鋯薄膜及其作為銅導線之阻障之研究,另一為以鎳電極系統作為生物感測器。 有關於擴散阻障層的部分,VLSL技術的發展,常利用銅作為內接線材料,但在低溫…
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